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陶瓷坩堝在多晶硅材料提純和鑄錠中的應用
發布日期:2012-07-26 瀏覽次數:
22378
核心提示:石英玻璃坩堝是單晶硅生產中的關鍵必需品。由于石英玻璃坩堝在單晶硅生產中的成熟應用,人們自然地將石英玻璃坩堝移植到多晶硅的生產中,結果導致了應用失敗。技術上成熟的方法是采用陶瓷坩堝提純多晶硅,在物理法提純太陽能級多晶硅材料和定向結晶爐(DSS)系統中越來越多的采用陶瓷坩堝。
陶瓷坩堝在多晶硅材料提純和鑄錠中的應用.pdf
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